[18a-B203-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[18a-B203-7] MEMS VCSEL集積スローライト導波路ビームスキャナの作製

〇井上 俊也¹、旭 利紘¹、西村 駿¹、中濵 正統¹、松谷 晃宏¹、坂口 孝浩¹、小山 二三夫¹ (1.東工大)

キーワード：面発光レーザ、スローライト導波路

近年自動車の運転自動化に向けて測距センサーであるLiDARが興味を集めているが，現在主流のミラーの回転による方式ではビーム掃引速度，信頼性，デバイスサイズの点での向上が難しい．本研究室で高解像点数の非機械式ビームスキャンと光増幅機能を実証しているスローライト導波路に波長可変面発光レーザを集積し，作製したデバイスでレーザ発振を得た．またMEMSへ電圧印加を行い，スローライト導波路への結合光の変化を確認した．