[18a-B301-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-B301-2] ナノワイヤ中の不純物によるバンドテールがトンネルFETに与える影響の解析

〇田中 貴久¹、内田 建¹ (1.慶大理工)

キーワード：トンネルFET、バンドテール、不純物