[18a-B303-6~9] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[18a-B303-8] LN変調器向けの小型0.18um CMOS高速駆動回路

〇久保木 猛¹、多喜川 良¹、加藤 和利¹ (1.九大シス情)

キーワード：CMOS、集積回路、光変調器

低温接合技術の活用による強い光閉じ込め可能なLNOI (LN on Insulator)構造の作製によって光デバイスの大幅な小型化，低消費電力化が期待される．光変調器等への適用のためには，電気-光信号変換のための光デバイス駆動回路が必要になるが，駆動回路は高速動作に加えて小型かつ低消費電力，高い駆動電圧等，相反する性質を両立させる設計が求められるで動作する必要がある．
本稿では巻き込み型インダクタの採用によって大幅な回路面積の削減を図った0.18um標準CMOSプロセスによる小型高速駆動回路の設計を報告する．