[18a-C102-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18a-C102-6] DCスパッタリング法によるTaドープSnO₂膜の作製

〇三河 通男¹、中田 邦彦² (1.香川高専、2.住友化学株式会社)

キーワード：酸化物透明導電体