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[18a-D101-1] Voc、IscマッピングによるRib型Si太陽電池の評価
キーワード:太陽電池、ヘテロ接合型Si太陽電池
Si太陽電池の超薄型化を目指しRib構造・ヘテロ接合太陽電池の開発を進めている。Rib構造では、面積比で10%程度のRib部分が薄型化された部分を機械的に支えている。Siが厚い部分(ウェハ厚)と薄い部分(エッチングされた部分)が存在するため、面内で太陽電池特性が分布している。そこでレーザテック社のMP15を用いてRib型Si太陽電池の特性マッピングを試みた。その結果、Rib部分と薄膜部分での開放電圧差約10mV程度を認めることができた。