[18a-D101-1~10] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [18a-D101-3] Silicon heterojunction solar cells with a B Cat-doped a-Si:H layer

〇Katsuya Akiyama¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Cat-doping

Catドーピング法は、加熱触媒体線でのガスの接触分解により生成したラジカルに試料を曝すことで、P、B原子のドーピングを行う手法である。本研究ではまず、a-Si:H/ITO接合の電気特性を調査し、ITO膜を200℃で形成し、かつB Catドーピング時に水素を添加した場合に、a-Si:H/ITO界面におけるトンネル伝導がより効率的に行われることを見出した。これに基づいてB Catドープ層をもつSHJ太陽電池を作製したところ、変換効率12.6%を得ることに成功した。