[18a-D101-1~10] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[18a-D101-7] Study of silicon heterojunction solar cells with metals directly formed on a-Si films(2)

〇Takeo Konishi¹, Koichi Koyama¹, Keisuke Ohdaira¹, Hideki Matsumura¹ (1.JAIST)

Keywords:solar cell, heterojunction, back contact

a-Si/c-Siヘテロ接合裏面電極型太陽電池は高効率であるが，裏面電極のパターン形成を兼価に済ます技術開発がその普及のためには必要である．前回，我々はp-a-Si上にAlを直接堆積して太陽電池特性を熱処理温度依存性から評価し，150 °Cまでの熱処理は試料の効率向上へ効果的に寄与することを報告した．今回，n-a-Si上にAlを直接堆積して太陽電池特性を評価した結果，前回と同様に150 °Cまでの熱処理は効果的であったが，160 °C以上ではV_OCの低下と共にJ_SCも低下することを確認した．