[18a-D101-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-D101-7] a-Si上に金属を直接堆積したSiヘテロ接合太陽電池の検討(2)

〇小西 武雄¹、小山 晃一¹、大平 圭介¹、松村 英樹¹ (1.北陸先端大)

キーワード：太陽電池、ヘテロ接合、裏面電極

a-Si/c-Siヘテロ接合裏面電極型太陽電池は高効率であるが，裏面電極のパターン形成を兼価に済ます技術開発がその普及のためには必要である．前回，我々はp-a-Si上にAlを直接堆積して太陽電池特性を熱処理温度依存性から評価し，150 °Cまでの熱処理は試料の効率向上へ効果的に寄与することを報告した．今回，n-a-Si上にAlを直接堆積して太陽電池特性を評価した結果，前回と同様に150 °Cまでの熱処理は効果的であったが，160 °C以上ではV_OCの低下と共にJ_SCも低下することを確認した．