PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 コメント (0) 10:15 〜 10:30 [18a-D103-6] 急冷と徐冷hot zoneによるCZ結晶成長中の格子間原子の発生機構-徐冷hot zone (Ⅱ)- 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1、白井 光雲2 (1.信越半導体、2.阪大産研) キーワード:Si中の点欠陥