[18a-D103-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-D103-8] シリコン結晶中の熱平衡点欠陥濃度

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：シリコン結晶、空孔、格子間原子

熱平衡点欠陥濃度は自己拡散や成長欠陥の成因等を理解するために重要である。しかし、シリコン結晶ではまだ求められていない。我々は昨年春の学会で報告した自己拡散係数を解析することにより、それらを求めることができた。融点において、空孔濃度は格子間原子濃度より小さかった。これは結晶成長欠陥に関するヴォロンコフモデルの仮定と逆である。