[18a-F102-1~7] 1.6 超音波

△ [18a-F102-1] ピコ秒超音波法を用いたCu/Nb多層膜の面外弾性率計測

〇山門 大貴¹、中村 暢伴¹、荻 博次² (1.阪大院基礎工、2.阪大院工)

キーワード：超音波、薄膜、弾性率

金属多層膜の弾性率計測は1970年代から行われているが，研究グループによって異なる計測結果が報告されており、弾性特性について統一的な見解が得られていない．原因としては従来法では基板の弾性率など多数のパラメータが必要なため，測定誤差が大きくなる可能性がある．そこで，密度，膜厚，弾性波伝播時間の3つのパラメータのみで弾性率を導出できるピコ秒超音波法を用いてCu/Nb多層膜の弾性率計測を行い，弾性特性を調べた．