[18a-F206-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-F206-1] ダイヤモンド合成における合成の一様性へのAr導入効果

〇山田 英明¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹ (1.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、CVD、一様性