[18a-F210-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[18a-F210-12] ヘテロダイン技術を用いた走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡の開発

〇和泉 遼¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.阪大院工)

キーワード：走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡

現在、電気的特性の高周波応答を計測することが可能な顕微鏡技術の1つに、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡がある。しかし、今までのところ、KPFMなどの顕微鏡技術と比較して、空間分解能は良くない。
我々は、sMIMの空間分解能の向上のために、従来のsMIMにヘテロダイン技術を組み合わせた顕微鏡の開発を行った。本発表では、ヘテロダイン技術を用いた走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡の開発および、これを用いて得られたsMIM画像について報告する。