[18a-F210-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [18a-F210-2] ナノピペットを有するプローブ顕微鏡を用いたHe/O₂大気圧プラズマジェットの
局所照射によるアクリル樹脂膜表面の微細除去加工

〇山本 将¹、森松 大亮¹、中村 篤志¹、荻野 明久¹、永津 雅章²、岩田 太^1,2 (1.静大院工、2.静大電研)

キーワード：大気圧プラズマジェット、ナノピペット、微細加工