[18a-F210-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [18a-F210-5] 高次共振周波数を用いたKPFMの定量性

〇(PC)本田 暁紀¹、井藤 浩志¹ (1.産総研)

キーワード：ケルビンプローブフォース顕微鏡、表面電位、走査型プローブ顕微鏡

ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)は原子間力顕微鏡(AFM)のファミリーの1つであり、試料の表面電位を計測できる装置である。KPFMの測定電位の正確性・定量性には未だ改善の余地があるため、本研究ではカンチレバーの高次共振周波数を用いて、より正確な電位測定手法を確立することを目的とした。金属試料および半導体試料の表面電位を計測し、その定量性について考察した。