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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[18a-G203-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

2018年3月18日(日) 09:00 〜 12:15 G203 (63-203)

右田真司(産総研)

09:15 〜 09:30

[18a-G203-2] チャージポンピングEDMR法における信号強度の温度依存性評価

〇(M1)安藤克哉¹、堀匡寛¹、土屋敏章¹、小野行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：チャージポンピング法、EDMR、シリコンMOSFET