5:15 PM - 5:30 PM
[18p-A404-10] Through-hole processing using ring-shaped femtosecond laser
Keywords:bema shaping, computer-generated hologram, femtosecond laser processing
本報告では,リング整形フェムト秒レーザー照射を用いて,トレパニングによる貫通穴加工の高速化を実現した.また,バイナリ位相レンズとの組み合わせにより,リングビームの長焦点深度化を検討した.実験結果より,リングビームを再生する計算機ホログラムの最適化により,リングビーム内のサイドローブが低減され,加工効率が向上した.