[18p-A404-1~12] 高強度レーザーによる物質変換～材料プロセッシングの展開

[18p-A404-10] リング整形フェムト秒レーザーによる貫通穴加工

〇長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：ビーム整形、計算機ホログラム、フェムト秒レーザー加工

本報告では，リング整形フェムト秒レーザー照射を用いて，トレパニングによる貫通穴加工の高速化を実現した．また，バイナリ位相レンズとの組み合わせにより，リングビームの長焦点深度化を検討した．実験結果より，リングビームを再生する計算機ホログラムの最適化により，リングビーム内のサイドローブが低減され，加工効率が向上した．