[18p-A404-1~12] 高強度レーザーによる物質変換～材料プロセッシングの展開

[18p-A404-12] フェムト秒レーザー加工における深さ形状のパルス毎測定

〇谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：フェムト秒レーザーアブレーション

フェムト秒レーザーアブレーションによる3次元形状変化をパルス毎に計測し、表面形状とレーザーアブレーションの関係を調べた。表面形状変化とアブレーション速度の関係から、レーザー照射により作られる脆化層がアブレーションに大きな影響を及ぼしていることが分かった。