[18p-A404-1~12] 高強度レーザーによる物質変換～材料プロセッシングの展開

[18p-A404-5] 半導体量産用高出力光源の集光鏡の寿命特性

〇溝口 計¹、齊藤 隆志¹、山崎 卓¹ (1.ギガフォトン　株式会社)

キーワード：極端紫外光、レーザー生成プラズマ、リソグラフィ

ギガフォトンでは2019年の10nmノード以降の量産工場向け250 W（@ I/F）のEUV光源の量産化を目指し開発を進めている。250 WのEUV出力を達成するために三菱電機㈱との共同プロジェクトを実施し27kWCO2ドライバレーザーシステムを開発をした。現在は変換効率５％100Wレベルで100時間を超える連続運転試験を行い、EUVプラズマから発生するEUV集光鏡の寿命特性試験を行っている。最新のデータでは磁場ミチゲーションにより-0.4%/G・pulse世界レベルの良好な集光鏡寿命特性を実証している。詳細を講演で報告する。