[18p-A404-1~12] 高強度レーザーによる物質変換～材料プロセッシングの展開

[18p-A404-9] GaNへのフェムト秒レーザー照射における応力の評価

〇後藤 兼三¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：GaN、フェムト秒レーザー、応力