[18p-B201-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-B201-14] 水素感応膜の製膜プロセス改善によるPt-Wo3/Siマイクロリング共振器水素ガスセンサの感度向上

〇松浦 壮佑¹、山作 直樹²、國分 泰雄²、西島 喜明²、岡崎 慎司²、荒川 太郎² (1.横浜国立大学、2.横浜国立大学大学院)

キーワード：ガスセンサ、水素ガス

以前報告した水素ガスセンサの製膜プロセスを改善し、感度が向上したため報告する。