[18p-B203-1~17] 3.13 Semiconductor optical devices

△ [18p-B203-10] GaAsP Quantum Well Tunable Single-Mode laser with Periodically Slotted Structure

〇So Kusumoto¹, Masahiro Uemukai¹, Ryuji Katayama¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:GaAsP, wavelength tuning, slotted structure

DBRレーザよりも比較的簡便なプロセスで作製できる波長可変単一モードレーザとして、スロットと呼ばれる幅0.5 µm程度の溝構造を周期的に形成したスロット構造レーザを作製した。このレーザはDBRレーザほどの高分解能リソグラフィや結晶再成長を必要とせず、リッジ構造活性チャネルとスロット構造を一度のRIEで形成することが出来る。本発表では、この周期的スロット構造波長可変単一モードレーザの設計、作製、評価について報告する。