[18p-B203-1~17] 3.13 半導体光デバイス

△ [18p-B203-10] 周期的スロット構造を用いたGaAsP波長可変単一モードレーザ

〇楠本 壮¹、上向井 正裕¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工)

キーワード：GaAsP、波長可変、スロット構造

DBRレーザよりも比較的簡便なプロセスで作製できる波長可変単一モードレーザとして、スロットと呼ばれる幅0.5 µm程度の溝構造を周期的に形成したスロット構造レーザを作製した。このレーザはDBRレーザほどの高分解能リソグラフィや結晶再成長を必要とせず、リッジ構造活性チャネルとスロット構造を一度のRIEで形成することが出来る。本発表では、この周期的スロット構造波長可変単一モードレーザの設計、作製、評価について報告する。