2:30 PM - 2:45 PM
[18p-B203-6] Design and fabrication of optical modulator with subwavelength grating using TE light
Keywords:optical modulator, subwavelength grating, electro-optic polymer
光イメージングや光無線通信への応用に向けて,高速な垂直入射型光変調器が求められている.著者らは,シリコン(Si)のサブ波長格子に電気光学(EO: electro-optic)ポリマーを埋め込むことで,共振を利用して効率的に光の強度や位相を変調する素子を提案し,研究を進めている.今回,TE(transverse-electric)偏光の入射光を用いることで,Si格子の厚さを大幅に薄くできることを見出し,実際に試作した素子を用いて共振を観測したので報告する.