[18p-B203-1~17] 3.13 Semiconductor optical devices

[18p-B203-6] Design and fabrication of optical modulator with subwavelength grating using TE light

〇Yuji Kosugi¹, Yuki Okamoto¹, Chiyumi Yamada², Akio Higo¹, Toshiki Yamada², Akira Otomo², Yoshio Mita¹, Yoshiaki Nakano¹, Takuo Tanemura^1,3 (1.The Univ. of Tokyo, 2.NICT, 3.JST PRESTO)

Keywords:optical modulator, subwavelength grating, electro-optic polymer

光イメージングや光無線通信への応用に向けて，高速な垂直入射型光変調器が求められている．著者らは，シリコン（Si）のサブ波長格子に電気光学（EO: electro-optic）ポリマーを埋め込むことで，共振を利用して効率的に光の強度や位相を変調する素子を提案し，研究を進めている．今回，TE（transverse-electric）偏光の入射光を用いることで，Si格子の厚さを大幅に薄くできることを見出し，実際に試作した素子を用いて共振を観測したので報告する．