[18p-B403-1~19] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[18p-B403-1] MOD法による新規層状酸化ハロゲン化物中間層の開発

〇元木 貴則^1,5、池田 周平¹、中村 新一²、本田 元気³、永石 竜起³、土井 俊哉^4,5、下山 淳一^1,5 (1.青学大理工、2.TEP、3.住友電工、4.京大院エネ科、5.JST-ALCA)

キーワード：REBCO薄膜、酸化ハロゲン化物、MOD法

これまで我々はMOD法を用いて原料溶液へのCl添加によりc軸配向したBa₂Cu₃O₄Cl₂ (Ba2342)酸化塩化物がYBCO薄膜中に析出することを見出してきた。Ba2342はYBCO母相の2軸配向を促進するとともに、YBCO配向膜の得られる成膜条件を大きく拡大することが分かっている。本研究では、非真空のMOD法を用いてこの酸化塩化物を2軸配向中間層として成膜し、その上にYBCOをエピタキシャル成長させることを目的としている。