[18p-B403-1~19] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[18p-B403-17] Vapor-Liquid-Solid成長法を用いて作製した
BaHfO₃添加SmBa₂Cu₃O_y薄膜の成長機構

〇吉田 隆¹、田尻 修也¹、一野 祐亮¹、土屋 雄司¹、一瀬 中² (1.名大工、2.電中研)

キーワード：超伝導薄膜