[18p-C103-1~9] フレキシブルセラミックスコーティング技術と有機・無機ハイブリッドフレキシブルデバイスの新展開

[18p-C103-2] 酸化亜鉛機能を生みだすフレキシブルコーティング技術

〇山本 哲也¹、野本 淳一¹、牧野 久雄¹、北見 尚久²、酒見 俊之²、佐藤 哲³ (1.高知工科大総研、2.住友重機械工業(株)、3.東北電子産業(株))

キーワード：酸化亜鉛セラミックス、表面、抗菌

酸化亜鉛 ZnO セラミックスの機能顕在化を可能とさせるフレキシブルコーティング技術が満たすべき条件や実際の成膜装置の特長などを議論する。具体的な応用としては、表面極性特性を機能として活かす化学センサー、近赤外領域波長通信用プラズモニクス、抗菌性などを挙げる。主な制御因子は多結晶薄膜の結晶子配向性及び薄膜内及び表面に分布する活性酸素種である。