[18p-C103-1~9] フレキシブルセラミックスコーティング技術と有機・無機ハイブリッドフレキシブルデバイスの新展開

[18p-C103-4] プラスチック材料を基材とする酸化物結晶薄膜の作製： ゾル－ゲル転写技術の提案

〇幸塚 広光¹、高橋 充¹、新沼 航太¹、天野 夏美¹、濱野 亮介¹、内山 弘章¹ (1.関西大)

キーワード：薄膜、酸化物、プラスチック

演者らはプラスチック基板上に酸化物結晶薄膜を作製する新しい技術を提案した。この技術はゾル－ゲル法と転写に基づいており、焼成が薄膜の結晶化を保証する点に特長がある。これまでに種々のプラスチック表面に60 - 660 nm厚のTiO₂、ITO、ZnO、Fe₂O₃薄膜を作製してきた。本技術の概要に加え、薄膜の柔軟性、薄膜と基板の密着性、薄膜の転写を可能とする機構について述べる。