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[18p-C103-5] レーザー転写パターニング技術の新展開 -ナノ粒子から機能性薄膜まで-
キーワード:レーザー転写、金属・酸化物・半導体微粒子、3Dプリンティング
本講演ではレーザー転写パターニング技術の最新動向について紹介する。レーザー転写は、レーザーパルスを物質に照射し、瞬間的に加熱蒸発(アブレーション)させることで生じる高温高圧場を駆使して、“物質を移す”手法である。その特長は、真空・溶剤フリー、生体物質にも適用でき、3Dプリンターへの応用も期待される。本技術の世界動向とともに、我々がこれまで開発してきた2種類のレーザー転写手法について報告する。