[18p-C104-1~9] 圧電薄膜の基礎技術と応用デバイス

[18p-C104-5] 最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法

〇柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.JSTさきがけ、3.各務材料研究所)

キーワード：BAWフィルタ、FBAR、ScAlN

近年、BAWフィルタ(FBAR)は5G以降の4 GHzを超える次世代のフィルタとして有望視されている。本講演ではBAWフィルタ用の圧電薄膜に要求される性能や、材料の種類、成膜時の問題点、評価方法について議論する。