[18p-C104-1~9] 圧電薄膜の基礎技術と応用デバイス

△ [18p-C104-7] 電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長

〇遠藤 結佳¹、佐野 耕平¹、唐澤 嶺¹、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院先進理工、2.JSTさきがけ、3.材研)

キーワード：ScAlN薄膜