[18p-C204-1~9] 二次元シート合成とプラズマプロセス～超薄膜から原子層まで～

[18p-C204-9] おわりに

〇長谷川 雅考¹ (1.産総研)

キーワード：原子層物質、超薄膜、プラズマプロセス

本シンポジウムのまとめとして、原子層物質・超薄膜合成の現状と課題、またそれに対するプラズマプロセスの寄与など今後の展望に関して議論する.