[18p-C302-1~19] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-C302-16] β型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードのスイッチング特性

〇有馬 潤¹、平林 潤¹、藤田 実¹、井ノ口 大輔¹、佐々木 公平^2,3、倉又 朗人^2,3、福光 由章¹ (1.TDK、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.タムラ製作所)

キーワード：半導体