[18p-C303-1~8] 光波センシングにおける偏光イメージング技術

[18p-C303-3] 偏光素子内蔵裏面照射型CMOSイメージセンサーとその応用

〇村山 淳¹、平澤 康孝¹、近藤 雄飛¹、陸 穎¹、栗田 哲平¹、海津 俊¹、三原 基¹、山崎 知洋²、丸山 康²、上坂 祐介²、的場 義久²、寺田 尚史³、小森 健太³、大庭 義行³、荒川 伸一³、秋山 健太郎²、大池 祐輔²、佐藤 修三²、江崎 孝之² (1.ソニー株式会社、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社、3.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社)

キーワード：イメージセンサ、偏光

4方向の偏光フィルタ(WGP = Wire Grid Polarizer)をオンチップ・画素単位で集積した偏光センサのデバイス、及び、そのセンサを応用した事例の紹介を行います。