[18p-C303-1~8] 光波センシングにおける偏光イメージング技術

[18p-C303-6] 光コムを用いた分光エリプソメトリー法

〇南川 丈夫^1,2、安井 武史^1,2 (1.徳島大理工、2.JST-ERATO)

キーワード：光コム、分光エリプソメトリー、偏光計測

本研究では，光強度，位相，周波数（波長）が高度に制御された光コムを用いた新たな分光エリプソメトリー法を実現した．光コムを用いることで，機械操作を必要とせずに，高波長分解能，広帯域，かつ高速に薄膜特性や表面性状の計測が可能となる．本手法は，機能性薄膜や光学材料の高精度な特性評価，高速性を活かした材料の動的特性評価など幅広い応用が期待できる．