[18p-D102-1~23] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

△ [18p-D102-10] Four-terminal measurement of organic transistors fabricated by reverse offset printing

〇(M1)Gaku Tsuburaoka¹, Hiroyuki Matsui¹, Yasunori Takeda¹, Tomoko Okamoto², Kousuke Tanabe², Shizuo Tokito¹ (1.ROEL, Yamagata Univ., 2.DIC Corp.)

Keywords:reverse offset printing, four-terminal measurement, contact resistance

凸版反転印刷法は線間隔約1μｍまでの高解像度が得られる印刷手法であり、有機トランジスタ（OTFT）の短チャネル化に適した印刷法である。短チャネルOTFTの動作律速要因として、半導体のチャネル抵抗に加え、電極/半導体界面のキャリア注入抵抗があるが、凸版反転印刷電極を用いたOTFTのキャリア注入抵抗の評価は、Transfer Line Method(TLM法）を用いた報告のみである。TLM法は特別な素子構造を必要としない反面、前提条件に素子特製のばらつきが小さいこと、および電極がオーミック接触であることを仮定している。本研究では、四端子測定法を用いて凸版反転印刷電極を用いたOTFTのチャネル抵抗およびコンタクト特製の評価を行ったので、報告する。