[18p-D102-1~23] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [18p-D102-10] 凸版反転印刷電極を用いた有機トランジスタの四端子測定

〇(M1)圓岡 岳¹、松井 弘之¹、竹田 泰典¹、岡本 朋子²、田邉 弘介²、時任 静士¹ (1.山形大ROEL、2.DIC（株）)

キーワード：凸版反転印刷法、四端子測定、接触抵抗

凸版反転印刷法は線間隔約1μｍまでの高解像度が得られる印刷手法であり、有機トランジスタ（OTFT）の短チャネル化に適した印刷法である。短チャネルOTFTの動作律速要因として、半導体のチャネル抵抗に加え、電極/半導体界面のキャリア注入抵抗があるが、凸版反転印刷電極を用いたOTFTのキャリア注入抵抗の評価は、Transfer Line Method(TLM法）を用いた報告のみである。TLM法は特別な素子構造を必要としない反面、前提条件に素子特製のばらつきが小さいこと、および電極がオーミック接触であることを仮定している。本研究では、四端子測定法を用いて凸版反転印刷電極を用いたOTFTのチャネル抵抗およびコンタクト特製の評価を行ったので、報告する。