[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-11] 太陽電池用シリコン単結晶の凝固過程および冷却過程における転位密度の酸素依存性

井手 智朗¹、〇中野 智²、原田 博文²、宮村 佳児²、柿本 浩一^1,2 (1.九大院工、2.九大応力研)

キーワード：転位

太陽電池用シリコン単結晶において、転位は変換効率を低下させる大きな要因である。シリコン結晶中に含まれる代表的な不純物の１つである酸素が増加すると、低応力下の場合、転位の運動速度が減少し、転位の増殖が低減することが報告されている。本研究では、結晶の凝固過程、および結晶凝固終了後の冷却過程において、酸素拡散を考慮した転位の3次元数値解析を行い、結晶中転位密度と酸素との関係について解析した。