[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [18p-D103-13] 電子線照射Si結晶の室温フォトルミネッセンスで観測されるC-line近傍発光を利用した炭素評価

〇石川 陽一郎¹、田島 道夫¹、木内 広達¹、三好 一智¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工)

キーワード：シリコン、フォトルミネッセンス、炭素不純物