[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-22] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定
(XIV)1x10¹³cm^-3までの赤外用人工ブロックゲージの作製と共有

〇井上 直久^1,2、河村 裕一² (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)

キーワード：FZシリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

第二世代赤外吸収法(電子線照射人工参照試料とフォノン吸収妨害対策のスペクトル処理(3点ベースライン)と高性能装置の使用)によって世界の先進ポリシリコンメーカで濃度測定用のpoly-FZ結晶の約1013cm-3までの測定を達成した。電子線照射により濃度の知られた標準試料の最低濃度2x1015cm-3 から1x1013cm-3までの間の任意の試料を作製し、標準試料を用いた較正を行い、ポリシリコンメーカや分析サービス会社と共有し、各社の生産現場での感度精度を向上させた。