[18p-E201-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-E201-10] c面サファイア基板上ZnO薄膜成長におけるV,N共添加ZnOバッファ層導入の効果

〇大野 航太朗¹、兼松 知弘²、川島 知之²、鷲尾 勝由² (1.東北大学、2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、結晶成長、バッファ層