[18p-E201-1~13] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[18p-E201-13] Influence of metal composition on crystal growth for blue-light emitting W-Zn-O phosphor films

〇Tomoyuki Kawashima¹, Atsushi Kimura¹, Katsuyoshi Washio¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:phosphor

これまでに研究を進めてきたRFマグネトロンスパッタ法と急速熱酸化処理を用いた紫外励起型W-Zn-O青色蛍光体（WZO）の膜状合成において、蛍光体の結晶成長様式とそれが発光特性に及ぼす影響は明らかになっていない。本研究では金属組成がWZO薄膜の結晶成長に及ぼす影響を検討した。