[18p-E201-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-E201-13] W-Zn-O青色蛍光体薄膜結晶成長に及ぼす金属組成の影響

〇川島 知之¹、木村 惇志¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工)

キーワード：蛍光体

これまでに研究を進めてきたRFマグネトロンスパッタ法と急速熱酸化処理を用いた紫外励起型W-Zn-O青色蛍光体（WZO）の膜状合成において、蛍光体の結晶成長様式とそれが発光特性に及ぼす影響は明らかになっていない。本研究では金属組成がWZO薄膜の結晶成長に及ぼす影響を検討した。