[18p-E201-1~13] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [18p-E201-6] Preparation of dielectric distributed Bragg reflectors by the reactive helicon-wave-excited-plasma sputtering method (1)

〇(B)Takumi Kasuya^1,2, Kohei Shima¹, Kiyoshi Kikuchi¹, Kazunobu Kojima^1,2, Shigefusa Chichibu^1,2 (1.IMRAM-Tohoku Univ., 2.Dept. Appl. Phys.-Tohoku Univ.)

Keywords:Reactive helicon-wave-excited-plasma sputtering method, Distributed Bragg reflectors, ZrO2

反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法を用いて形成した誘電体分布ブラッグ反射鏡（DBR）について、誘電体膜のRMS粗さがDBRの反射率に与える影響について報告する。