[18p-E201-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [18p-E201-6] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (1)

〇(B)粕谷 拓生^1,2、嶋 紘平¹、菊地 清¹、小島 一信^1,2、秩父 重英^1,2 (1.東北大多元研、2.東北大工)

キーワード：反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法、分布ブラッグ反射鏡、ジルコニア

反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法を用いて形成した誘電体分布ブラッグ反射鏡（DBR）について、誘電体膜のRMS粗さがDBRの反射率に与える影響について報告する。