15:00 〜 15:15
△ [18p-E201-6] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (1)
キーワード:反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法、分布ブラッグ反射鏡、ジルコニア
反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法を用いて形成した誘電体分布ブラッグ反射鏡(DBR)について、誘電体膜のRMS粗さがDBRの反射率に与える影響について報告する。
一般セッション(口頭講演)
21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
15:00 〜 15:15
キーワード:反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法、分布ブラッグ反射鏡、ジルコニア