2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[18p-E201-1~13] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2018年3月18日(日) 13:45 〜 17:15 E201 (57-201)

藤村 紀文(大阪府立大)、牧野 久雄(高知工科大)

15:00 〜 15:15

[18p-E201-6] 反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成 (1)

〇(B)粕谷 拓生1,2、嶋 紘平1、菊地 清1、小島 一信1,2、秩父 重英1,2 (1.東北大多元研、2.東北大工)

キーワード:反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法、分布ブラッグ反射鏡、ジルコニア

反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法を用いて形成した誘電体分布ブラッグ反射鏡(DBR)について、誘電体膜のRMS粗さがDBRの反射率に与える影響について報告する。