[18p-E202-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-E202-17] PSD 成長した Mg ドープ GaN 薄膜の特性

〇筆谷 大河¹、上野 耕平¹、小林 篤¹、藤岡 洋^1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL)

キーワード：スパッタリング、GaN