[18p-F210-1~10] チップ増強ラマン散乱（TERS）の最前線

[18p-F210-7] 深紫外先端増強ラマン散乱顕微鏡の開発：高再現度・アルミニウムグレイン探針の作製

〇(P)齋藤 広大^1,2、田口 敦清¹、河田 聡^1,2 (1.阪大院工、2.セレンディップ研)

キーワード：増強ラマン、走査プローブ顕微鏡、近接場光

先端増強ラマン散乱(TERS)顕微鏡は、ナノスケールのラマン顕微鏡である。我々はTERS顕微鏡を波長300 nm以下の深紫外域に展開しており、これまでにAl探針を用いた深紫外TERSを実現してきた。今回我々は探針先端を意図的に鈍化したカンチレバーにAlを蒸着することで、探針先端に確実にAlナノ粒子を形成し、周辺に離散的なナノ粒子が形成される技術を確立した。その結果、深紫外TERSを示す探針を再現良く作製することに成功したので報告する。