[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-10] シリコン集積化MEMS技術による高解像触覚センシング

〇高尾 英邦¹ (1.香川大工)

キーワード：触覚センサ、高解像度、シリコンMEMS